一、擴散泵系列真空機組概述:
擴散泵系列真空機組以羅茨旋片機組作為預抽,擴散泵主體及擋板均有改進,使得在較低真空領域抽速有較大成度增加。它以油擴散泵為主泵和閥門、水冷擋板、管道、機械真空泵(前級泵)等組成高真空抽氣系統,可獲得(10-2—10-4Pa)的工作真空度。擴散泵系列真空機組可作為真空冶煉、真空燒結、真空熱處理、真空鍍膜、真空釬焊、真空浸漬、太空模擬試驗裝置等高科技設備的高真空獲得裝置,以及其它需要在10-1 --10-4帕的低氣壓(高真空)環境下工作的真空系統的配套設備。
擴散泵系列真空機組的特點是抽氣能力大,抽速從190L/S至49000L/S范圍內可供選擇;并可長時間穩定連續工作。擴散泵系列真空機組被廣泛地應用在電子、化工、冶金、航空、航天、材料、生物醫藥、原子能、宇宙探測等高科技領域。如各種真空爐、真空鍍膜設備、真空冷凍干燥設備等。典型真空機組是用氣動閥門程序控制。如需其他驅動方法,請在訂貨時注明。 |